Étude comparative du rendement de pulvérisation dans des matériaux photovoltaïques

Abstract

Dans ce travail, on s’est intéressé à l’identification des paramètres influant sur le processus de dépôt par pulvérisation ionique dans différents matériaux photovoltaïques. L’outil utilisé dans l’étude, est le logiciel de simulation SRIM ; D'après les résultats obtenus, le rendement de pulvérisation évolue proportionnellement avec l'angle et l’énergie d'incidence jusqu’à une certaine valeur, ensuite il diminue. La différence des valeurs obtenues dans les matériaux considérés, a confirmé l’étroite relation entre le processus de pulvérisation et la structure du matériau à pulvériser. Lors du calcul des pouvoirs d’arrêt électronique et nucléaire, les mêmes observations ont étés constatées ; Ajouter à ceci, l’influence de la nature du faisceau d’ions utilisé pour pulvériser le matériau, observé durant la comparaison des résultats obtenus à partir d’ions argon et ceux obtenus à partir d’ions néon.