Elaboration et caractérisation des films minces d’oxyde d’yttrium pur et dopés ytterbium

Abstract

Les couches minces d’Y2O3 et d’Yb-Y2O3 ont été élaborées par la méthode sol-gel et déposés sur des substrats de silicium et de verre par la technique spin-coating. Les caractéristiques structurel, optique et électrique ont été étudiées respectivement par la diffraction des rayons X, la spectroscopie UV-Visible, la PL et la méthode des quatre points. L’étude par la diffraction des rayons X a montré que toutes les couches sont polycristallines avec une structure cubique et une orientation préférentielle suivant le plan (200). L’étude par la spectroscopie UV-Visible montre que le dopage en ytterbium a amélioré la transparence des couches et la transmittance moyenne de l'échantillon dopé à 3 % Yb est de l’ordre de 90%. Les résultats PL montrent deux émissions fortes et proches avec un maximum d’intensité pour l’échantillon dopé avec 3 % en Yb, L’étude par la méthode des quatre Points a montré que le dopage en Yb a augmenté la résistivité électrique