Elaboration et caractérisation des couches minces de dioxyde d’étain non dopé, dopé (In, Al) et co-dopé Al-Co par voie sol-gel

Abstract

Dans ce travail, nous avons synthétisé, par la technique sol-gel spin coating, des films minces d’oxyde d’étain, un dopé, dopé (In, Al) et co-dopé Al-Co, déposés sur des substrats en verre. Afin d'etudier l'effet du dopage et co-dopage sur les propriétés d'oxyde d’étain, diverses méthodes de caractérisation sont utilisées. Les résultats DRX ont montré une structure rutile tétragonale d’aspect polycristallin. Les résultats optiques ont révélé une transmittance élevée dans la région visible (80-92%), une énergie de gap variant entre (3.75-3.89 eV), et un indice de réfraction compris entre (2-3) dans la gamme du visible. Les spectres PL à température ambiante ont montré que les défauts les plus dominants correspondent aux lacunes d'oxygène. Une faible résistivité d’ordre variant entre (10-3-10-4 Ω.cm) et des figures de mérites variant entre (10-3-10-2 Ω-1), dans la gamme visible, ont été obtenues. Les meilleures performances, ont été obtenues pour un taux de dopage de 2 at. % Al qui possède une figure de mérite comparable à celui de l’ITO.