Dépôt Institutionnel Université de Jijel
L'effet du traitement thermique sous atmosphère oxydante sur la localisation des dopants dans des films minces de Si-LPCVD.
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L'effet du traitement thermique sous atmosphère oxydante sur la localisation des dopants dans des films minces de Si-LPCVD.
Kadjoudj, Mouhssen
;
Medjemem, Daoud
;
Merabet, Souad (Encadreur)
URI:
http://dspace.univ-jijel.dz:8080/xmlui/handle/123456789/12478
Date:
2014
Description:
Option: Microélectronique
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Fichier(s) constituant ce document
Nom:
M-ELE.MIC-2014-03.pdf
Taille:
9.364Mo
Format:
PDF
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