Contribution à l'étude structurale et optique du silicium poreux

Abstract

Ce travail concerne l'étude de la formation du silicium poreux par anodisation électrochimique. Ses propriétés remarquables ont permis son utilisation dans de nombreux domaines d'applications tels que la photonique, la photovoltaïque, les biocapteurs.... Plusieurs échantillons ont été élaborés sur des substrats monocristallins type n et p d'orientation (100) en faisant varier certains paramètres expérimentaux tels que le courant et la durée d'anodisation. Les techniques de caractérisations utilisées dans ce travail (spectroscopie Raman, microscopie électronique à balayage et réflectance) ont permis de définir les propriétés structurales et optiques (la taille des pores et des cristallites, la porosité, et I'indice de réfraction) du silicium poreux. Les résultats obtenus ont montré que les paramètres d'anodisation utilisés influent sur ses différentes propriétés.