Elaboration par la méthode sol gel spin coating et caractérisations des couches minces de ZnO

Abstract

Dans ce travail, les couches minces de ZnO pures et dopées ont été élaborées par la méthode Sol Gel et déposées sur des substrats de verre par la technique de spin caoting. Pour réaliser des films de bonne qualité, nous avons étudié l’effet des paramètres de dépôt tels que la vitesse de rotation, la température de recuit et le nombre de couches sur les propriétés structurales et optiques. La caractérisation structurale des films par DRX montre que tous les films de ZnO obtenus sont polycristallins avec une structure hexagonale wurtzite et d’une orientation préférentielle (002) suivant l'axe c perpendiculaire au substrat. Les spectres de DRX montrent aussi que la taille des grains augmente avec la température de recuit. La caractérisation optique des films par la spectroscopie UV- Visible dans la gamme spectrale allant de 300 à 800 nm montre que ces films sont transparents dans la visible. De plus, l’analyse des spectres de la transmittance, nous a permis de déterminer le gap des films.