Synthèse et caractérisation des couches minces d'oxyde de zinc(ZnO) co-dopé In-Y

Abstract

Dans ce travail de mémoire, nous avons préparé des films minces d'oxyde de zinc co-dopés à l'yttrium par la technique spin-coating. Les films ont été déposés sur des substrats de verre.Les couches minces ont été analysées par plusieurs techniques: la diffraction des rayons X(DRX) pour analyser la structure des couches minces, la spectroscopie UV-visible pour déterminer les propriétés optiques des couches minces ZnO: In-Y, et enfin les quatre points pour étudier les propriétés électriques.A partir des résultats de DRX, on a constaté que les couches obtenues sont cristalisées dans une structure hexagonale de type wurtzite avec une orientation préférentielle(002) suivant l'axe c.Les spectres UV-Vis montrent que nos couches ont une forte transmittance , qui varie entre 91 à 94 %.Les propriétés électrique ne sont pas satisfaisantes(R+1.85x10-3&*cm), mais ces résultats sont trés encouragements. Mots clés:Couche Mince, ZnO co-dopé, spin-coating