Elaboration et caractérisation des couches minces d’oxyde de titane dopé Sn

Abstract

Le travail de ce mémoire a été consacré à l’élaboration et à l’étude des propriétés des couches minces de dioxyde de titane (TiO2) pure et dopées à l’étain (Sn) avec différentes concentrations. Les couches minces ont été réalisées sur des substrats en verre par la technique Spin-coating. Les films minces ont été analysés par les techniques suivantes: la spectroscopie UV-Visible pour déterminer les propriétés optiques des couches minces Sn- TiO2, et la méthode des quatre pointes pour étudier les propriétés électriques. Les résultats obtenus par UV indiquent que la transmittance dans la région visible des films minces est comprise entre 65 et 95%. En ce qui concerne les propriétés électriques, nous observons que la résistivité est faible (de l’ordre de 10-2 Ω. Cm) avec un minimum pour l’échantillon dopé à 3% avec l’étain, ou sa valeur égal à Ω. cm, et facteur de mérite égale à f= 5.765 .10-5 pour l’échantillon dopé à 3% avec l’étain, ce qui présente le meilleur compromis entre la transmittance et la résistivité électrique.