Elaboration et caractérisation des films minces d’oxyde d’yttrium pur et dopés argent

Abstract

Les couches minces d’Y2O3 et d’Ag-Y2O3 ont été élaborées par la méthode sol-gel et déposé sur des substrats de silicium et des substrats de verre par la technique spincoating. Les caractéristiques structurel, optique et électrique ont été étudié respectivement par la diffraction des rayons X, la spectroscopie UV-Visible et la méthode des quatre points. L’étude par la diffraction des rayons X montré que les grains ont des tailles nanométriques et son moyenne est de l’ordre de 113 nm. L’étude par la spectroscopie UV-Visible montre que le dopage en argent a amélioré la transparence des couches et sa transmittance moyenne est de l’ordre de 85%. L’étude par la méthode des quatre points montre que la résistivité varie selon la concentration de dopage et sa résistivité moyenne est de l’ordre de 4 (Ω .cm)

Les couches minces d’Y2O3 et d’Ag-Y2O3 ont été élaborées par la méthode sol-gel et déposé sur des substrats de silicium et des substrats de verre par la technique spincoating. Les caractéristiques structurel, optique et électrique ont été étudié respectivement par la diffraction des rayons X, la spectroscopie UV-Visible et la méthode des quatre points. L’étude par la diffraction des rayons X montré que les grains ont des tailles nanométriques et son moyenne est de l’ordre de 113 nm. L’étude par la spectroscopie UV-Visible montre que le dopage en argent a amélioré la transparence des couches et sa transmittance moyenne est de l’ordre de 85%. L’étude par la méthode des quatre points montre que la résistivité varie selon la concentration de dopage et sa résistivité moyenne est de l’ordre de 4 (Ω .cm)